FESTO費斯托在半導體行業(yè)中的應(yīng)用

FESTO費斯托是一家傳承三代的家族企業(yè)的必然要求，經(jīng)濟獨立且具有社會責任感

立足傳統(tǒng)，著眼**

求知欲、勇氣和適應(yīng)力并非費斯托的新理念， 而是始終流淌在我們的血液里。我們想要打造**地位創新能力，以便時刻準備好應(yīng)對不斷變化的市場需求。

應(yīng)用：控制和調(diào)節(jié)冷卻回路

在半導體制造過程中可靠地調(diào)節(jié)冷卻液

Festo 的解決方案：

閥島 VTUG 和 VTOC (1)用于可靠地控制介質(zhì)的氣控閥

CPX-MPA 型閥島如果需要額外的 I/O，例如用來控制電控閥用上了、集成傳感器或創(chuàng)建閉環(huán)控制回路。此閥島還可用于執(zhí)行診斷和遠程維護功能能力建設。

氣控或電控 閥 VZXA關註、VZQA 和 VZWF (3)控制介質(zhì)流量。即使在閉環(huán)控制回路中無障礙，也能可靠連日來、準確地調(diào)節(jié)非常冷和/或熱的介質(zhì)。

角行程驅(qū)動器 DFPD (4)驅(qū)動 球閥 VZBF (5)以及通常用于冷卻或溫度控制介質(zhì)的主管線和進/出管線的大流量翻板閥認為。

SFAW (2) 和 SPAW (6)型傳感器非常準確地測量介質(zhì)流量以及溫度和壓力意向。

1.完全裝配并經(jīng)過測試的即可安裝系統(tǒng)解決方案

2.一站式提供您用于調(diào)節(jié)冷卻過程所需的所有元件

3.標準版本的介質(zhì)閥堅固可靠意料之外，或根據(jù)安裝空間、溫度和介質(zhì)定制的解決方案
冷卻應(yīng)用中的介質(zhì)分配元件：

閥島VTUG,帶有多針或現(xiàn)場總線接口

緊湊形式、通用置之不顧、大流量。優(yōu)化的閥島型號數字化，安裝在控制柜中方便，帶有氣路板，可提高防腐蝕性能各領域。還具有熱插拔功能應用領域，可在不中斷正在進行的過程的情況下更換閥。
擺動驅(qū)動器 DFPD

DFPD 系列采用齒輪齒條組合進行培訓，在整個擺動范圍內(nèi)具有恒定的扭矩特性發展機遇。擺動驅(qū)動器 DFPD 非常適合蝶閥、球閥和風門的自動化法治力量。
 球閥VZBF

盱液體和氣體介質(zhì)的雙組分不銹鋼球閥易于維護全技術方案。其防火設(shè)計符合API 607的要求。
冷卻應(yīng)用中的介質(zhì)分配閥：

夾管閥VZQA

常閉或常開?將由您選擇共享。使用夾管閥VZQA,您可以更好地控制介質(zhì)流信息化，如顆粒、含固體物的流體和高粘度或研磨介質(zhì)生動。緊湊型閥安裝快速新型儲能，易于清潔并提供模塊化配置。

角座閥VZXA

極高的流量新品技、易于清洗和模塊化結(jié)構(gòu)範圍。您可以將閥體和驅(qū)動器組合在一起，以適應(yīng)您的應(yīng)用深入交流，并使其更加靈活管理。

電磁閥VZWF

強制先導式氣控閥VZWF使用相對較小的電磁線圈控制大公稱通徑內(nèi)的高壓，即使在沒有壓差的封閉質(zhì)回路中也適用雙向互動。
半導體行業(yè)產(chǎn)品

Festo 為制造電子元件的機器提供了廣泛的產(chǎn)品組合：具有集成**功能的閥島 VTOC 或我們的比例壓力閥 VEAA/VEAB（用于對通承屎桶?？刂苹蛘{(diào)節(jié)工藝氣體的介質(zhì)閥進行先導控制）。