SIMCO-ION思美高設(shè)備優(yōu)點：靜電吸附是用于臨時吸附材料的一種特殊工藝質生產力，ECM系列靜電吸附系統(tǒng)可以根據(jù)客戶需要提供高達60KV靜電電壓用于各種場合。ECM靜電吸附系統(tǒng)采用高頻開關(guān)技術(shù)提供三大優(yōu)勢技術交流。首先先進的解決方案，能夠根據(jù)所設(shè)定的電壓實現(xiàn)穩(wěn)定的電壓輸出；其次創造更多，輸入電壓的波動將不會影響輸出電壓波動宣講活動；*后，周邊環(huán)境的變化工藝技術，負載的變化豐富內涵，特別是在*大臨界負載變化將不會影響輸出電壓的穩(wěn)定性。ECM靜電吸附系統(tǒng)采用防電弧技術(shù)產能提升，很重要的優(yōu)點可以保證人身和設(shè)備使用**,并提高設(shè)備的穩(wěn)定性適應性，延長使用壽命。對于靜電吸附系統(tǒng)通過活化，靜電產(chǎn)生電極通常被連接到高達幾萬伏的電壓面向，靜電產(chǎn)生電極周圍會發(fā)生電暈現(xiàn)象，空氣被電離研學體驗，在電場的作用下建設項目，電荷移動至目標物體上。此時目標物體所帶有電荷的極性依賴于所產(chǎn)生高壓相對于地極的極性落實落細。

5635 型 Aerobar MP 離子發(fā)生器是一種超低顆粒兼容產(chǎn)品相結合，專為需要 100 nm 或更低微粒管理的領(lǐng)域（例如先進半導(dǎo)體制造工藝）的靜電消除而開發(fā)。

長處

■單晶硅電極在全球擁有****的采用記錄製高點項目，具有超低顆粒特性為產業發展，避免
了電極材料造成的金屬污染風(fēng)險 ■獨特的MP（脈沖調(diào)制）方法提供高靜電消除性能
範圍和領域，可有效地將離子輸送到目標 ■ 低電位擺動特性，即使在 100 mm 的距離下也能使用各項要求，離子平衡對棒材長度幾乎沒有偏差 ■ 智能控制電路持續(xù)自動管理
離子發(fā)生狀態(tài)和離子平衡
■ 可互換電極更高要求，可拆卸1/4圈，有助于

■MP系統(tǒng)具有非常小的電位擺幅新技術，簡化了設(shè)置共同學習，小電位擺幅也有效地將長期離子平衡保持在
控制標準范圍內(nèi)。 ■根據(jù)半導(dǎo)體前端工藝的EFEM設(shè)置長度條
深入。 ■ 緊湊型設(shè)計
效高，內(nèi)置24V直流驅(qū)動控制器 ■ 全球提供高水平的支持網(wǎng)絡(luò)

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