KASHIYAMA工業(yè)株式會(huì)社，多年來致力于真空技術(shù)的研究深度，不斷開發(fā)進(jìn)取帶動擴大，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域和高科技行業(yè)中擁有極高的信譽(yù)。尤其在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域開拓創新，獲得了客戶的高度評(píng)價(jià)與信賴持續發展。KASHIYAMA柏山工業(yè)的LEH100MS干式真空泵系列已經(jīng)成為半導(dǎo)體制造業(yè)與液晶顯示制造行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。并促進善治，除此之外擴大，魯式及排氣組合式真空泵設(shè)備則在其他領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

泵結(jié)構(gòu)/原理

我們的水環(huán)真空泵由圓形殼體和葉輪組成發揮效力。當(dāng)殼體內(nèi)放入適量的水新格局，葉輪旋轉(zhuǎn)時(shí)，水因離心力而移動(dòng)安全鏈，同時(shí)形成與殼體同心的圓形水膜顯示。

因此，水膜和相鄰葉片形成一個(gè)密封空間真正做到，隨著葉輪的旋轉(zhuǎn)科普活動，該空間的體積發(fā)生變化，連續(xù)進(jìn)行吸入強化意識、壓縮和排氣長期間，從而形成高效泵基本情況。

近年來，從污染問題的角度考慮綠色化發展，還有一種方法是循環(huán)密封水而不是直接流出至關重要，以防止吸入氣體中含有的各種有害氣體溶解或與水混合而排出。

LEH/LEM系列的特點(diǎn)

• *適合排出含有水蒸氣和水滴的氣體效果。
• 可排出可燃性氣體和腐蝕性氣體使用。
• 由于摩擦部件少，無故障密度增加，可承受連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)有效性。
• 噪音低、振動(dòng)小機遇與挑戰。
• 連續(xù)排氣無脈動(dòng)廣泛關註。
• 軸采用機(jī)械密封，維護(hù)方便集成技術。
• 所有型號(hào)均為埃爾莫型就能壓製，比傳統(tǒng)納什型具有更好的極限壓力。
• 采用合適的供水系統(tǒng)適應能力，內(nèi)置恒流閥更優美。
• LEH型是高真空用兩級(jí)泵，LEM型是電機(jī)驅(qū)動(dòng)泵防控，結(jié)構(gòu)緊湊成效與經驗、重量輕。

請(qǐng)用于此類目的堅實基礎。

規(guī)格

代 理日本各類工業(yè)品：日本SAN-EI TECH三英優勢與挑戰，MUSASHI武藏點(diǎn)膠機(jī)，Nordson諾信EFD解決方案，IEI巖下趨勢，aicohsha愛工舍ACM（特殊立式攪拌機(jī)），KLEENTEK可濾特上高質量，ASAHIKASEI旭化成相互配合，TAGAWA十川工業(yè)軟管慢體驗，YODOGAWA淀川電機(jī)，MALCOM馬康智能化，USHIO牛尾點(diǎn)光源科技實力，SHOWA DENKI昭和電機(jī)，TSUBAKI椿本鏈條建設，morite鏡頭在此基礎上，KIKUSUI菊水電源，HOZAN寶山前來體驗，TRUSCO中山自主研發，cedar思達(dá)，MEISEI邁澤（電熱剝線器）更加廣闊、SANKO山高（金屬探測(cè)器損耗、膜厚儀）、TAKASAGO高砂制作所（直流電源）MITSUBISHI三菱 （UPS電源非常完善、PLC自動(dòng)化）
CCS光源（視覺光源性能穩定、檢查光源）、Tsubosaka壺坂（燈箱作用、光度計(jì)情況正常、輝度箱、光源）發揮重要作用、POLARION普拉瑞（探照燈醒悟、HID強(qiáng)光燈數據顯示、檢查燈）AITEC艾泰克（檢查光源）高質量、Iwasaki巖崎（金鹵燈、HID燈記得牢、UV燈）
OTSUKA大塚電子（光學(xué)膜厚儀註入了新的力量、相位差測(cè)試儀、粒度儀）更多可能性、KOSAKA小坂臺(tái)階儀去創新、HORIBA堀場(chǎng)儀器、cosmo科斯莫緊迫性、MITAKA三鷹光器結構、SIBATA柴田科學(xué)、RIKEN 理研高效、TORAY東麗濃度儀應用優勢、RION理音、ACCRETECH東精精密全方位、HOKUTO DENKO北斗電工高效節能、SANYOSEIKO山陽精工影響力範圍、日本IMV愛睦威地震儀、TML東京測(cè)器新創新即將到來、TOE東京光電子邁出了重要的一步、GRAPHTEC圖技、SIGMAKOKI西格瑪光機(jī)設施、TOKYO KEISO東京計(jì)裝需求、FUJI KIN 富士金、TOFCO東富科規模設備、FLOWELL 福威真諦所在、KITZ 開滋、ASAHI旭有機(jī)材競爭力、LUCEO魯西歐（表面應(yīng)力儀充分、偏光應(yīng)力儀）
KYOWA共和（應(yīng)變片、壓力傳感器）集聚、ONOSOKKI小野測(cè)器（傳感器競爭力、檢測(cè)儀）
CKD（氣動(dòng)元件、電缸）狀況、FUJIKURA藤倉（單向閥機製性梗阻、泄壓閥、摩擦氣缸）
TOKISANGYO東機(jī)產(chǎn)業(yè)（粘度計(jì)）全過程、ASKER高分子計(jì)器（橡膠硬度計(jì)集成應用、試驗(yàn)機(jī)）SK新瀉精機(jī)（水平尺、水平測(cè)量?jī)x器）SKSATO佐藤（溫度計(jì)不負眾望、溫度記錄儀）高效流通、上海一恒儀器 （恒溫箱、烘箱精準調控、）功能、TECLOCK得樂（硬度計(jì)、千分表）解決、AND愛安得（電子天平預期、工業(yè)天平）、KEM京都電子（水分儀攜手共進、自動(dòng)電位滴定儀）
TOHNICHI東日（扭力扳手共同、螺絲刀）KANON中村（電動(dòng)螺絲刀、扭力工具）
Heishin兵神（泵經過、點(diǎn)膠機(jī)）簡單化、KOKUSAN科庫森離心機(jī)、TOKKYOKIKI特許機(jī)器抗震臺(tái)解決方案、ULVAC愛發(fā)科泵優勢、IWAKI易威奇（泵）善謀新篇、kashiyama柏山（泵）、MARUYAMA丸山（泵）便利性、日本Yamato雅瑪拓方法、AMAYA天谷制作所、YUASA湯淺（柔性屏彎折試驗(yàn)機(jī)）提供有力支撐、
SIMCO思美高切實把製度，SSD西西蒂，DIT東日技研自行開發，KASUGA春日進行部署，TRINC高柳（靜電儀器設(shè)備）、Kanetec強(qiáng) 力（磁力設(shè)備應用情況、高斯計(jì)）
ASONE亞速旺（實(shí)驗(yàn)室儀器保護好、車間穿戴裝備）、SAKURAI櫻井（無塵紙表現、熱敏紙）特點、Nitto-Kohki日東工器（快速接頭）、NIRECO 尼利可（電動(dòng)執(zhí)行器結論、傳感器）