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晶園、洗滌**晶園表面的臟污及

各種金屬離子簡單化、成膜

在高溫擴散爐中力度，形成、表面氧化膜

電路圖案設(shè)計系統性、運用CAD制作布局勇探新路、布線

設(shè)計圖。制作光掩膜

將電路圖案沖印到中間掩傳遞、模上(原版照片)

光刻膠涂布試驗、將光刻膠(感光材料)涂抹到晶

圓表面，形成厚度均一的薄膜開展攻關合作。

旋轉(zhuǎn)涂膜儀(P4~P11) 將光掩膜與晶園重合製度保障，復(fù)制電路

圖案。

光刻機(P13~P15)

可選組件

顯影的有效手段、去除曝光部位(正膠)的光刻膠統籌推進。

顯影裝置(P17. 18)、蝕刻

通過腐蝕氧化膜來蝕刻電路關鍵技術。

蝕刻裝置(P19)

離子注入/濺射

向晶園注入離子(混雜物)
滴液裝置可選組件 吸盤

●MS-B100/ MS-B150

●MS-B200

●MS-B300

●MS-B200 (密閉型)

●MS-B300 (密閉型)

日本MIKASA光刻機
MA-10

●MA-20

●MA-60F

●M-2LF

●M-1S

日本MIKASA曝光了解情況，將光掩膜與晶園重合，復(fù)制電路圖案技術研究。
日本MIKASA顯影重要的、蝕刻裝置DeveloperEtching
日本MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機MS-A150/MS-B150現(xiàn)貨現(xiàn)貨旋轉(zhuǎn)涂膜儀

去除曝光部位(正膠)的光刻膠。
●AD-1200

●AD-3000

●PD-1000

日本MIKASA蝕刻裝置
蝕刻裝置

●ED-1200

●ED-3000

日本Mikasa為半導(dǎo)體制造工序提供支持的Mikasa備齊光刻膠涂布姿勢、曝光相互融合、顯影、蝕刻等半導(dǎo)體制造前段工序所需要的裝置后綠色化，提供一站式服務(wù)技術交流。另外，為旋轉(zhuǎn)涂膜儀的所有機型準(zhǔn)備了替代用機拓展，可在發(fā)生故障時盡早應(yīng)對創造更多，且在銷售后提供快捷周到的售后服務(wù)。針對研究過程中所發(fā)生的一系列問題，也可在現(xiàn)場提出解決建議工藝技術。與客戶共同探討在哪個工序出現(xiàn)了問題效率、應(yīng)如何改進等等，從而得出解決建議產能提升。Mikasa 作為一個可在半導(dǎo)體方面進行共同商談的咨詢顧問不僅銷售設(shè)備適應性，而是為客戶半導(dǎo)體制造的整體工藝流程。將光刻膠（感光材料）涂抹到晶圓表面通過活化，形成厚度均一的薄膜落地生根。

日本Mikasa為半導(dǎo)體制造工序提供支持的Mikasa備齊光刻膠涂布、曝光健康發展、顯影有效保障、蝕刻等半導(dǎo)體制造前段工序所需要的裝置后，晶圓涂抹提供一站式服務(wù)長效機製。

日本Mikasa 半導(dǎo)體用設(shè)備 旋涂機

MS-B100

MS-B150

MS-B200

MS-B300

MS-B200

密閉型MS-B300

密閉型MA-20

MA-10B

MA-60F

M-2LF

M-1S

AD-1200

AD-3000

ED-1200

代 理日本各類工業(yè)品：SSD講實踐，東日技研，TRINC高柳特林科奮戰不懈，SIMCO市場開拓，KIKUSUI菊水，TSUBAKI椿本大大縮短，SHOWA DENKI昭和電機要落實好，MALCOM馬康 ,TML東京測器,TOE東京光電子，TRUSCO更默契了，HIOS先進技術，HOZAN，METCAL順滑地配合，HAKKO，淀川電機效高，USHIO前沿技術，CCS，三英性能，MUSASHI武藏多種方式，MEISEI，OPTEX技術創新，東機產(chǎn)業(yè)深入交流研討，高砂，IMRO廣泛應用，KITO關註度，TOMIX，KURABO哪些領域，MORITEX等日本SAN-EI TECH三英橋梁作用，MUSASHI武藏點膠機長遠所需，Nordson諾信EFD，IEI巖下讓人糾結，aicohsha愛工舍ACM（特殊立式攪拌機）規模，KLEENTEK可濾特，ASAHIKASEI旭化成基石之一，TAGAWA十川工業(yè)軟管聯動，YODOGAWA淀川電機，MALCOM馬康共同努力，USHIO牛尾點光源行業內卷，SHOWA DENKI昭和電機，TSUBAKI椿本鏈條很重要，morite茉 莉特鏡頭能力和水平，KIKUSUI菊水電源，HOZAN寶山異常狀況，TRUSCO中山研究，cedar思達(dá)，MEISEI邁澤（電熱剝線器）應用創新、SANKO山高（金屬探測器提高、膜厚儀）、TAKASAGO高砂制作所（直流電源）MITSUBISHI三菱 （UPS電源的特性、PLC自動化）交流、CCS光源（視覺光源、檢查光源）提供堅實支撐、Tsubosaka壺坂（燈箱還不大、光度計、輝度箱信息化技術、光源）發揮作用、POLARION普拉瑞（探照燈、HID強光燈逐步顯現、檢查燈）AITEC艾泰克（檢查光源）銘記囑托、Iwasaki巖崎（金鹵燈、HID燈自動化裝置、UV燈）示範、OTSUKA大塚電子（光學(xué)膜厚儀、相位差測試儀高質量、粒度儀）提供了有力支撐、KOSAKA小坂臺階儀、HORIBA堀場儀器、cosmo科斯莫意見征詢、MITAKA三鷹光器提升、SIBATA柴田科學(xué)、RIKEN 理研的必然要求、TORAY東麗濃度儀研究成果、RION理音、ACCRETECH東精精密完善好、HOKUTO DENKO北斗電工大面積、SANYOSEIKO山陽精工、日本IMV愛睦威地震儀問題分析、TML東京測器培養、TOE東京光電子、GRAPHTEC圖技更加完善、SIGMAKOKI西格瑪光機形式、FLOWELL 福威、ASAHI旭有機材支撐作用、LUCEO魯西歐（表面應(yīng)力儀日漸深入、偏光應(yīng)力儀）、KYOWA共和（應(yīng)變片同時、壓力傳感器）互動式宣講、ONOSOKKI小野測器（傳感器、檢測儀）CKD（氣動元件模式、電缸）自動化、FUJIKURA藤倉（單向閥、泄壓閥高品質、摩擦氣缸）TOKISANGYO東機產(chǎn)業(yè)（粘度計）不折不扣、ASKER高分子計器（橡膠硬度計、試驗機）SK新瀉精機（水平尺資源優勢、水平測量儀器）SKSATO佐藤（溫度計高效利用、溫度記錄儀）、上海一恒儀器 （恒溫箱長效機製、烘箱進一步提升、）空間廣闊、TECLOCK得樂（硬度計營造一處、千分表）、AND愛安得（電子天平知識和技能、工業(yè)天平）取得顯著成效、KEM京都電子（水分儀、自動電位滴定儀）、TOHNICHI東日（扭力扳手不容忽視、螺絲刀）KANON中村（電動螺絲刀組織了、扭力工具）、Heishin兵神（泵說服力、點膠機）搶抓機遇、KOKUSAN科庫森離心機、TOKKYOKIKI特許機器抗震臺表示、ULVAC愛發(fā)科泵全面闡釋、IWAKI易威奇（泵）、kashiyama柏山（泵）競爭力所在、MARUYAMA丸山（泵）引人註目、日本Yamato雅瑪拓、AMAYA天谷制作所溝通機製、YUASA湯淺（柔性屏彎折試驗機）好宣講、SIMCO思美高，SSD西西蒂領先水平，DIT東日技研，KASUGA春日，TRINC高柳（靜電儀器設(shè)備）橋梁作用、Kanetec強 力（磁力設(shè)備長遠所需、高斯計）、ASONE亞速旺（實驗室儀器讓人糾結、車間穿戴裝備）規模、SAKURAI櫻井（無塵紙、熱敏紙）基石之一、Nitto-Kohki日東工器（快速接頭）聯動、NIRECO 尼利可（電動執(zhí)行器、傳感器）共同努力、TOFCO東富科  （流量計）組成部分、eoptics頤光科技（反射膜厚儀）、Filmetrics優(yōu)尼康（膜厚測量儀）新的動力、TOKYO KEISO東京計裝（超聲波液位計的過程中、超聲波流量計）、RKC理化工業(yè)（數(shù)字顯示控制器廣泛關註、溫度傳感器）促進進步、YAMATO雅瑪拓（恒溫箱、噴霧干燥器）優勢領先、YAMADA雅瑪達(dá)（隔膜泵迎來新的篇章、往復(fù)泵）共創美好、KOFLOC小島（質(zhì)量流量控制器、浮子流量計薄弱點、控制閥）覆蓋範圍、KITZ開滋（閥門）、CKD喜開理（氣缸積極性、氣缸開關(guān)）奮勇向前、AMANO安滿能（集塵器、空氣凈化器實施體系、工業(yè)清掃機）數據、NYS株式會社西村化工（半導(dǎo)體、FPD發揮、 電子部件）顯著、MARUYAMA丸山（柱塞泵、高壓水泵）

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